【論文紹介】機械学習とリアルタイムフィードバック制御による半導体基板の万能脱酸

最新AI論文をキャッチアップするAI-SCHOLARへの投稿をご紹介します。

 半導体製造工程のエピタキシャル成長のその場(in situ)終点検出に、ハイブリッド畳み込みと画像トランスフォーマー（CNN-ViT）モデルを適用しました。