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最新AI論文をキャッチアップするAI-SCHOLARへの投稿をご紹介します。
半導体製造工程のエピタキシャル成長のその場(in situ)終点検出に、ハイブリッド畳み込みと画像トランスフォーマー（CNN-ViT）モデルを適用しました。
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