【論文紹介】機械学習とリアルタイムフィードバック制御による半導体基板の万能脱酸

最新AI論文をキャッチアップするAI-SCHOLARへの投稿をご紹介します。

 半導体製造工程のエピタキシャル成長のその場(in situ)終点検出に、ハイブリッド畳み込みと画像トランスフォーマー（CNN-ViT）モデルを適用しました。

AI-SCHOLAR | AI：(人工知能)論文...

機械学習とリアルタイムフィードバック制御による半導体基板の万能脱酸 3つの要点✔️ 半導体製造工程の内、エピタキシャル成長のその場(in situ)終点検出に機械学習を適用しました✔️ 基板表面の結晶性を反映する画像データを与える反射高エネルギ...